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等离子体化学反应过程中，等离子体传递化学能量的反应过程中能量的传递大致如下：(1) 电场+电子→高能电子(2) 高能电子+分子(或原子)→(受激原子、受激基团、游离基团) 活性基 团(3) 活性基团+分子(原子)→生成物+热(4) 活性基团+活性基团→生成物+热。

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等离子净化器处理技术已研制出标准化废气治理设备，利用所产生的高能电子、自由基等活性粒子电离、裂解工业废气中的各组成份，使之发生分解，氧化等一些列复杂的化学反应，海港区等离子净化器，再经过多级净化，从而消除各种污染源排放的异味、臭味污染物，使有毒有害气体达到低毒化，保护人类生存环境。由于其对污染物分子的高效分解且处理能耗低等特点，为工业废气的处理开辟了一条新的思路。